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晶圆制作温度节制

1、晶圆制作进程中,对温度的节制很是严酷,由于这个对装备出产的精度有影响,而基于砷化镓的光纤温度丈量装备为晶圆制作进程中的进程监控供给了抱负的前提,它们的丈量规模从200°C到+ 300°C,并且具备高精度0.2℃。

2、咱们的装备能够或许知足出产室内对纯度和宁静性的严酷请求。真另有科技的光纤探头完整不受RF和EMI的搅扰,可确保在硅晶片上停止切确丈量,而对掩护的请求很是低。

3、真另有科技能够为装置丈量体系供给完整定制的处理计划。咱们的手艺旨在供给矫捷性,以确保咱们知足您的设置装备摆设请求。光纤温度传感器能够扩大到数百米,而不会影响精度。
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